白光干涉儀的干涉儀維護

白光干涉儀的日常維護：

1、儀器應適當放置在乾燥潔淨的室內，防止振動，儀器移動時應支撐底座，防止導軌變形。

2、光學部件不使用時，應存放在乾淨乾燥的盆中，以防發霉。 反射器和分光鏡一般不允許擦拭，需要擦拭時，必須先用備用刷子小心地將灰塵除去，然後用脫脂棉球滴下酒精和Y醚混合物。

3、傳動部件應潤滑良好。 特別是導軌、絲杆、螺母和軸孔部分應使用T5精密儀器油潤滑。

4.使用時，各調節部位的力應適當，不要強行旋轉或用力擰動。

5、導軌表面的絲杆應保護不刮傷、不生鏽，使用後仍應處於無失油狀態。

6、微調儀器部件上的螺絲塗有紅色油漆，未經授權不得轉動。

<>白光脊霍爾分支干涉儀是基於白光干涉測量原理，結合精密Z方向掃瞄模組、3D建模演算法等，對器件表面進行非接觸式掃瞄，建立表面3D影象，通過系統軟體對器件表面的3D影象進行處理分析， 並得到反映器件表面質量的2D和3D引數。可廣泛應用於半導體製造與封裝工藝測試、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料與製造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業、航空航天、科研院所等領域。 它可以測量從超光滑到粗糙，從低反射率到高反射率，從奈米到微公尺工件的各種型別物體表面的粗糙度、平面度、微觀幾何輪廓、曲率等。

白光干涉儀：它是一種分析光從兩個非湮滅表面反射後形成的干涉條紋的儀器。

干涉儀是利用干涉測量原理測量光路差確定相關物理量的光學儀器。 兩束相干光之間光程差的任何變化都會非常靈敏地導致干涉條紋的運動，而某一束相干光的光路變化是由介質的幾何距離或折射帆折率的變化引起的，因此幾何長度或折射率的微小變化可以通過干涉條紋的運動來測量， 以便可以測量與此相關的其他物理量。

白光干涉儀的主要功能：觀察、分析、應用。 改為冰雹。

SJ6000雷射干涉儀的主要應用如下：

1.具有實現線性度、角度度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。 可檢測數控工具機、三坐標測量機等精密運動裝置運動導軌的線性定位精度和重複定位精度; 同時，還可以檢測動導軌的俯仰角、扭轉角、垂直度和直線度; 並且可以校準工具機的旋轉軸。

2.可根據使用者設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足工具機糾錯要求。

3.具有動態測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）和幅頻分析等功能，可用於工具機振動測量與分析、滾珠絲槓動態特性分析、驅動系統響應特性分析、導軌動態特性分析等。

4.內建國內外標準，如國標（GB）、ISO（INTERNATIONAL）、BS（英製）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等。 可根據多種機器標準對資料進行分析處理，並可列印相應的曲線和資料包表。

（1）幾何精度檢測可用於檢測直線度、垂直度、俯仰偏航度、平面度、平行度等。

2）位置精度檢測及其自動補償 可檢測數控工具機的定位精度、重複定位精度、微位移精度。使用雷尼紹ML10雷射干涉儀，不僅可以自動測量工具機的誤差，還可以通過RS232介面自動補償其線性誤差，與通常的補償方法相比節省了大量時間，避免了手動計算和手動數控鍵控造成的操作誤差，可以最大限度地增加被測軸上的補償點數量， 使機器能夠達到最佳精度，操作人員不需要具備機器引數和補償方法的知識。

3）數控轉台分度精度的檢測和自動補償 現在，ML10雷射干涉儀和RX10轉盤參考也可以用於旋轉軸的自動測量。它可以以任何角度、任何角度間隔測量任何角度位置，精度為 1。 這項新技術已被新的國際標準推薦。

與傳統使用自準直儀和多面體的方法相比，不僅節省了大量的測量時間，而且獲得了完整的旋轉軸精度曲線，了解其精度的每乙個細節，並給出了根據相關標準處理的統計結果。

4）雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹的雙雷射干涉儀系統可以同時測量由兩個舵機驅動的大型龍門移動數控工具機的某個軸向運動的定位精度，也可以通過RS232介面自動補償兩軸線性誤差。

5）數控工具機的動態效能測試 雷射干涉儀採用雷尼紹動態特性測量與評估軟體，可用於工具機振動測試與分析（FFT）、滾珠絲槓動態特性分析、伺服驅動系統響應特性分析、導軌動態特性（低速爬行）分析等。

雷射干涉儀可應用於數控工具機、三坐標測量機等精密運動裝置的運動導軌的線性定位精度和重複定位精度，還可以檢測運動導軌的俯仰角、扭轉角、垂直度、直線度，並可校準工具機的回轉軸。 SJ6000雷射干涉儀可以結合直線鏡組實現精度的線性測量，也可以結合相應的反射鏡組實現角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、旋轉軸等引數的測量，並可以進行動態分析。

雷射干涉儀具有測量精度高、測量速度快、測量範圍大、解像度高等優點。 雷射干涉儀是目前公認的一種高精度、高靈敏度的檢測手段，通過不同光學元件的組合，可以實現對線性度、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、旋轉軸等引數的精密測量，並能對裝置進行速度、加速度、頻幅、時間位移等動態效能分析。 在相關檢測軟體的配合下，可自動生成誤差補償方案，為裝置糾錯提供依據。

雷射干涉儀採用美國進口高穩定性氦氖雷射器和雷射雙縱模熱穩頻技術，實現快速高精度（抗干擾能力強，雷射輸出長期穩定; 高精度環境補償模組，高精度雷射干涉訊號處理系統，高效能計算機控制系統技術，結合線性鏡組，可實現精確的線性測量; 結合相應的透鏡組，還可以實現角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、旋轉軸等引數的測量，並進行動態分析。

白光干涉儀是用於在奈米級測量各種精密器件的表面，它基於白光干涉測量技術的原理，將光源發出的光通過分光稜鏡進行光束擴張準直後分成兩束光束，一束光束被測表面反射回來， 另一束光被參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚並干涉，顯微鏡將被測表面的形態特徵轉換為干涉條紋訊號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面的三維形貌。

白光干涉儀專用於非接觸式快速測量，精密零件關鍵部位的表面粗糙度、微觀形貌和尺寸的測量精度均可達到奈米級！ 目前，在3D測量領域，白光干涉儀是最精確的測量儀器之一。

如果您認為對您有幫助，請隨時詢問，我們致力於這部分。 工作原理和技術引數可以與您詳細分享。

白光干涉儀？ 在上圖中，結構是什麼？

干涉儀是一種分析光在兩個不同表面上反射形成的干涉條紋的儀器。 其基本原理是通過不同的光學元件形成參考和檢測光路。

光纖馬赫曾德爾干涉儀利用耦合器的光分裂和光合作用特性，將輸入光分成兩束大小相等的光束，通過兩個干涉臂傳輸，兩個干涉臂在輸出端相遇，形成空間干涉。

SJ6000雷射干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、最高速度測量解像度高、測量範圍大等優點。 通過與不同的光學元件組合，可以測量各種幾何精度，如直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等。 在相關軟體的配合下，還可以對數控工具機的動態效能進行測試，工具機振動測試分析，滾珠絲槓動態特性分析，驅動系統響應特性分析，導軌動態特性分析等，精度和效率極高，為工具機糾錯提供了依據。

雷射干涉儀是一種以光波為載波，以光波波長為單位的測量和測試方法，被公認為一種高精度、高靈敏度的檢測方法，廣泛應用於高階製造領域。

雷射具有強度高、方向性高、空間均勻性強、帶寬窄、單色性高等優點。 目前，通常用於測量長度的干涉儀主要以麥可遜干涉儀為基礎，以恆頻氦氖雷射器為光源，形成具有干涉效應的測量系統。 雷射干涉儀可與各種折射鏡、反射鏡等配合使用，測量線性位置、速度、角度、平面度、直線度、平行度和垂直度，可作為精密工具機或測量儀器進行校準。

英文名稱：laser interferometer （laser interferometer）。

雷射干涉儀一般採用進口高穩定性氦氖雷射器和雷射雙縱模熱穩頻技術，實現快速（約6分鐘）、高精度（抗干擾能力強，雷射輸出長期穩定; 高精度環境補償模組，高精度雷射干涉訊號處理系統，高效能計算機控制系統技術，結合線性鏡組，可實現精確的線性測量; 結合相應的反射鏡組，還可以實現角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、旋轉軸等引數的測量，並進行靜態測量和動態測量分析。

SJ6000雷射干涉儀測量精度高，可自動監測環境溫度、物料溫度、環境濕度和大氣壓力等引數，並可手動或自動選擇環境補償。 雷射干涉儀測量記錄可以根據被測物體的型別、生產單位、編號、檢驗員、檢驗單位、檢定日期、裝置編號和生效日期等對檢定結果進行查詢和管理，並將資料列印成檔案或表格。