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晶圓是製造IC的基本原材料。
矽是從沙子中提煉出來的,晶圓上是用矽元素提純的(,然後這些純矽被製成矽晶棒,成為製造積體電路用石英半導體的材料,經過照相製版、研磨、拋光、切片等工序,將多晶矽熔化並拉出單晶矽晶體棒, 然後切成薄片。我們會聽到幾英吋的晶圓廠,如果矽片的直徑更大,則意味著晶圓廠擁有更好的技術。 此外,縮放技術可以減小電晶體和導線的尺寸,兩者都可以在單個晶圓上生產更多的矽晶元,從而提高質量並降低成本。
因此,這意味著在6英吋、8英吋和12英吋晶圓中,12英吋晶圓具有更高的產能。 當然,在晶圓生產過程中,良率是乙個非常重要的條件。
矽片是指用於生產矽半導體積體電路的矽片,因其圓形而被稱為矽片; 它可以在矽片上加工成各種電路元件結構,成為具有特定電氣功能的IC產品。 晶圓的原材料是矽,地殼表面是取之不盡用之不竭的二氧化矽供應。 二氧化矽礦石在電弧爐中精煉,用鹽酸氯化,蒸餾制得高純度的多晶矽,盡可能純淨。
然後晶圓廠將多晶矽熔化,然後在熔體中與小矽晶種混合,然後慢慢拉出,形成圓柱形單晶矽棒,這一過程稱為“晶體生長”,因為矽棒是由矽原料處於熔融狀態的小晶粒逐漸形成的。 矽晶棒經過研磨、拋光、切片後,就成為積體電路廠的基本原料——矽片片,也就是“矽片”。
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晶圓是單晶矽,它是圓柱形的,然後片成餅狀的薄片。 通過光刻,許多電子積體電路被蝕刻在上面,然後切割,然後封裝成整合塊。
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矽片是指用於生產矽半導體積體電路的矽晶元,因其圓形而被稱為矽片。
晶圓輪廓。 矽片是用於生產積體電路的載體,一般矽片多指單晶矽片。 晶圓是最常用的半導體材料,按直徑分為4英吋、5英吋、6英吋、8英吋等規格,最近開發了12英吋甚至更大的規格。
晶圓越大,同一晶圓上可以生產的IC越多,可以降低成本; 但是,對材料技術和生產技術的要求更高,例如均勻性等。 一般認為,矽片直徑越大,晶圓廠的工藝越好,良品率是矽片生產過程中非常重要的條件。
基本原材料。 矽由石英砂提煉而成,晶圓經矽元素提純(,然後將一些純矽製成矽晶棒,成為製造積體電路的石英半導體的材料,經過照相製版、研磨、拋光、切片等工序,將多晶矽熔化並從單晶矽晶棒中拉出, 然後切成薄片。
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晶圓是用於生產積體電路的載體。
晶圓是指用於生產矽半導體積體電路的矽晶元,是用於生產積體電路(IC)的載體。 我們在現實中看到的比較常見的矽晶元是電腦CPU和手機晶元。
在半導體行業,尤其是在積體電路領域,晶圓隨處可見。 晶圓是一種薄而圓的高純度矽片,可以在上面加工和製造各種電路元件,使其成為具有特定電氣功能的IC產品。
晶圓製造工藝:
表面清潔:晶圓表面覆蓋一層約2um的Al2O3和甘油混合物的保護層,製造前必須進行化學蝕刻和清潔。
一次氧化:SiO2緩衝層採用熱氧化法生成,用於降低Si3N4在後續晶圓上的應力氧化技術。
熱CVD:這種方法生產率高,梯形層壓性好(無論多麼不平整,深孔中的表面也會發生反應,氣體可以到達表面並粘附在薄膜上),因此用途極其廣泛。
以上內容參考:百科全書-威化。
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晶圓是用於製造矽半導體電路的矽晶圓,其原材料是矽。 將高純度多晶矽溶解,摻入矽晶種中,然後緩慢拉出,形成圓柱形單晶矽。 經過研磨、拋光、切片,形成矽片,即矽片。
國內晶圓生產線主要有8英吋和12英吋。
晶圓的主要加工方式有晶圓加工和批量加工,即同時加工乙個或多個晶圓。 隨著半導體特徵越來越小,加工和測量裝置變得越來越先進,從而為晶圓加工帶來了新的資料特性。 同時,特徵尺寸的減小增加了空氣中顆粒數量對晶圓加工後晶圓質量和可靠性的影響,並且隨著清潔度的提高,顆粒數量也具有新的資料特徵。
效能引數。 矽片和矽太陽能電池分別是半導體材料和半導體器件的典型代表。 半導體表徵引數測量和表徵材料及其器件的效能。
由於載流子是半導體材料和器件的功能載流子,載流子移動形成電流場和電場,載流子具有發光和熱輻射的特性,因此載流子引數是表徵半導體材料和器件載流子輸運特性的基礎,即載流子引數是矽片和矽太陽能電池特徵引數的重要組成部分。
矽片加工製造形成矽太陽能電池時,由於PN結與費公尺能級的差異,載流子分離形成電壓,進而直接反映飽和電流、填充因數和光電轉換效率等電效能引數,影響太陽能電池的伏安特性。 綜上所述,矽片的主要特性引數包括載流子引數。
載流子分為多數載流子和少數載流子,包括電子和空穴。 載流子擴散和漂移構成了電流的基礎,而電流構成了半導體器件中資訊傳輸的基礎。 載流子輸運引數是描述載流子運動和集中的基本引數,包括載流子壽命、擴散係數和前後表面的復合率。
這些引數直接反映了半導體材料的物理性質和電學性質,並影響載流子濃度和遷移率。 摻雜濃度是決定載流子濃度的另乙個重要引數,它影響材料的電阻率和載流子壽命,並決定器件的效能。
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晶圓是用於製造電路的矽晶圓。 因為它的形狀是圓形的,所以被稱為晶圓,可以在矽片上加工成各種電路元件結構,成為具有特定電功能的積體電路產品,而半導體積體電路的主要原材料是矽,所以它對應於矽片。
晶圓的工藝一次氧化,SiO2緩衝層由熱氧化生成,用於降低Si3N4在後續晶圓上的應力氧化技術,熱CVD,這種方法生產率高,梯形層壓性好(無論多麼不平整,深孔中的表面也會發生反應,氣體可以到達表面並粘附在薄膜上), 所以它的用途非常廣泛。
矽在自然界中以矽酸鹽或二氧化矽的形式廣泛存在於岩石和礫石中,矽片的製造可歸納為三個基本步驟,矽精煉提純、單晶矽生長、晶圓成型、製造工藝、表面清潔,以及約2um的Al2O3和甘油混合液體保護層附著在矽片表面, 在生產前必須進行化學蝕刻和表面清潔。
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晶圓是微電子行業的行業術語之一。
高純矽(純度,小數點後9-11個九)通常製成直徑為6英吋、8英吋或12英吋的圓柱形棒材。
積體電路廠商利用雷射將這些矽棒切割成極薄的山矽片(圓形),然後用光挑逗和化學蝕刻的方法製作出電干擾電路和電子元器件,完成後,每個矽片上都有大量的半導體晶元(如果有小規模的電路或電晶體, 每片上可以有3000-5000片),這些加工過的圓形矽片就是晶圓。
之後,它們將被送到半導體封裝廠進行包裝,然後成品將是我們看到的塑料積體電路或電晶體。
在物理學中,圓周運動是圓圈、圓路或軌跡在圓上的旋轉。 當考慮物體的圓周運動時,可以忽略物體的體積尺寸並將其視為質量(空氣動力學除外)。 >>>More